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1400℃三溫區真空氣氛管式爐以硅碳棒為發熱元件；雙層風冷結構；高純氧化鋁纖維真空吸附一次成型；高密度硅碳棒真空擠壓成型；剛玉管外徑為60、80mm。三個溫區分別由三個獨立的溫控系統來控制且都為PID30段程序化控溫。可通過調節三個溫區的控溫程序使爐管內溫場形成一溫度梯度，爐管兩端裝有不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表